Kata "nanoteknologi" berasal dari bahasa Yunani, yaitu "nanos" yang berarti "dwarf" atau "kecil".
Konsep nanoteknologi pertama kali dicetuskan oleh fisikawan Richard Feynman pada tahun 1959 dalam pidatonya "There's Plenty of Room at the Bottom".
Istilah "nanoteknologi" pertama kali digunakan oleh ilmuwan Jepang, Profesor Norio Taniguchi, pada tahun 1974.
Penemuan mikroskop pemindaian terowongan pada tahun 1981 memungkinkan para ilmuwan untuk mempelajari dan memanipulasi benda-benda dalam skala nanometer.
Pada tahun 1986, ilmuwan Eric Drexler menerbitkan buku "Engines of Creation" yang menggambarkan konsep nanorobotik dan manufaktur molekuler.
Pada tahun 2000, IBM berhasil membuat transistor dengan ukuran hanya 6 nanometer, yang merupakan ukuran terkecil saat itu.
Pada tahun 2006, ilmuwan Andre Geim dan Konstantin Novoselov dari University of Manchester berhasil membuat grafena, bahan yang hanya terdiri dari satu lapis atom karbon.
Pada tahun 2016, ilmuwan berhasil membuat baterai yang dapat diisi ulang dalam waktu beberapa detik menggunakan teknologi nanopori.
Nanoteknologi digunakan dalam berbagai aplikasi, seperti dalam pembuatan layar sentuh, bahan anti-bakteri, dan terapi penyakit.
Pada tahun 2018, ilmuwan berhasil membuat "nanobot" yang dapat berenang di dalam darah manusia untuk membantu dalam pengobatan penyakit.